Inteligentny przepływomierz masy Kontroler przepływu małej objętości
Zastosowanie i cechy
Kontroler przepływu masy (skrót MFC) służy do precyzyjnego pomiaru i kontroli przepływu masy gazu. Odgrywają one ważną rolę w badaniach naukowych i produkcji w przemyśle półprzewodników i układów zintegrowanych, materiałów specjalnych, przemyśle chemicznym, przemyśle, medycynie i lampach próżniowych. Typowe zastosowania obejmują: sprzęt elektroniczny, taki jak rozprzestrzenianie, CVD、 utlenianie, grabienie plazmowe, rozpylanie, wtrysk jonowy; oraz urządzenia do powlekania, topienia włókna optycznego, urządzenia do mikroreakcji, systemy dystrybucji gazu mieszanego, pomiary kapilarnych, chromatometry gazowe i inne instrumenty analityczne.
Główne wskaźniki techniczne
Zakres pomiaru (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Dokładność +1,5% F.S.
Liniowy +0,5 ~ 1,5% FS
Dokładność powtarzania +0,2% F.S.
Czas odpowiedzi 10sec Charakterystyka gazu: (1 ~ 4) sec
Różnica ciśnienia roboczego 0,1 ~ 0,5 MPa
Odporność na ciśnienie 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Temperatura środowiska roboczego 0 ~ 70 ℃
Wielkość cyfrowa Protokół RS485 MODBUS
Ilość analogowa DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA opcjonalnie
Charakterystyka elektryczna: SLM
Zasilanie DC +15V/24V opcjonalnie, przepływomierz <50mA, kontroler <200mA
Połączenie elektryczne DB15
Przenikalność 1×10 SCCSHe
Materiał podstawy Stal nierdzewna 316L
Materiał uszczelniający Guma fluorowa, butan, neopren
Złącza dróg powietrznych Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Uwaga: Przepływomierzy masowe i kontrolery przepływu masowego są zazwyczaj kalibrowane za pomocą azotu (N₂).
Jednostką przepływu masy jest: SCCM (standardowy ml/min); SLM (standardowy litr/min)
Inteligentny przepływomierz masy Kontroler przepływu małej objętości